![[:pt]INESC Microsistemas e Nanotecnologia[:en]INESC Microsistemas e Nanotecnologia[:de]INESC Microsistemas e Nanotecnologia[:]](https://micro-electronics.eu/wp-content/uploads/2023/10/INESC-MN-branco.png)
O INESC Microsistemas e Nanotecnologias (INESC-MN), instituto privado de I&D sem fins lucrativos, dispõe de uma sala limpa de classe 100/10, com litografia ótica e de feixe de eletrões, que permite o fabrico de dispositivos à nanoescala. A atividade do INESC-MN é dedicada à investigação e desenvolvimento de ponta em áreas tecnológicas estratégicas das micro e nanotecnologias, bem como à aplicação destas tecnologias em dispositivos eletrónicos, biológicos e biomédicos.
O INESC-MN fornece tecnologia à indústria portuguesa e a entidades internacionais, através de investigação em colaboração, investigação contratual, prototipagem e consultoria.
Nesta Agenda, o INESC-MN aplicará o seu know-how na implementação industrial da microfabricação para o desenvolvimento de chips electro-óticos e na industrialização de processos para circuitos óticos integrados.
– Packaging de PICs utilizando plataforma de prototipagem rápida de elementos microfabricados do INESC-MN
– Pretende desenvolver os protocolos de microfabricação em escala e uma plataforma de microfabricação de estruturas de packaging com recurso a técnicas de deposição de filmes finos e o seu processamento litográfico.
– Consumíveis para microfabricação de suportes para componentes óticos, incluindo bolachas de silício, produtos químicos e gases de processo, grelhas e alvos para o sistema de deposição de filmes finos.
– Equipamento de microfabricação e processo de microestruturas: alinhador de máscaras, sistema de etching com end point detetor, forno para cassetes de bolachas e sistema automático de coating/revelação para as bolachas. Equipamento para colocação de chips após o corte na serra.
– Sala limpa para uma área de produção de suportes microfabricados para PIC, incluindo o wetbench para os processos wet etch de KOH em batch de várias bolachas.
– Equipamentos de controlo de qualidade do processo de microestruturas: testador elétrico de bolachas com probe card e perfilómetro.