Unser Partner INESC Microssistemas e Nanotecnologias hebt einige der Entwicklungen hervor, die sich aus der laufenden Zusammenarbeit mit dem Konsortiumsmitglied PICAdvanced im Rahmen der Mikroelektronik-Agenda ergeben, die durch das Konjunkturprogramm (PRR) finanziert wird.
In diesem Schnappschuss haben sie einen der Schritte im Mikroherstellungsprozess von Siliziumhaltern festgehalten, die später für integrierte optische Schaltkreise verwendet werden, wo mittels reaktivem Ionenätzen (RIE) Hohlräume in die Siliziumnitridschicht geätzt werden.
Auf Micro.electronics berichten wir über die Entwicklungen unserer Konsortiumsmitglieder. Bleiben Sie dran für zukünftige Entwicklungen.
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